Tag: bewegungserkennung

Bulk-Mikromechanik-Technologie mit Silizium

Die Messelemente basieren auf dem kapazitiven Messprinzip und zeichnen sich durch hohe Genauigkeit und Schlagfestigkeit aus. Dies wird unter anderem durch die dreilagige Bulk-Mikromechanik-Technologie mit hochreinem Silizium erreicht.