Für präzise Messungen Kapazitiv findet, wer nach Präzision sucht Mit Auflösungen unter einem Nanometer gehören kapazitive Wegsensoren zu den genauesten Messsystemen für Weg, Abstand und Position. Wer nach Präzision sucht, der kommt an ihnen nicht vorbei. Dazu zeigen sich die Wegsensoren robust gegen äußere Einflüsse. Stefan Stelzl und Norbert Reindl, Micro-Epsilon 20. December 2016